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13-6B雙麵研磨機

    產品名稱:13-6B雙麵研磨機
     

    主要用途:

    本設備主要用於藍寶石襯底、矽片、陶瓷片、光學玻璃、石英晶體、其它半導體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端麵的同時磨削及拋光。

    工作原理:和特點

    1、創新是設計的基本理念,本設備在設計時認真分析和比較了國內外同類設備的結構、控製和功能特點,綜合、歸納並采用了眾多用戶的成功經驗和合理建議。著力提高設備的技術含量、運行精度和運行平穩性。

    2、采用先進的西門子產PLC程序控製器,控製整機的動作,自動化程度高,並由與之匹配的西門子Smart 700大屏幕觸摸屏作界麵,顯示當前整機狀態,實現人機對話,操作一目了然。

    3、采用變頻調速及全齒輪傳動,使整機工作時起動平穩、運轉穩定,尤其在低速運轉時,克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現象。

    4、采用亞德克生產的氣動執行元件與SMC生產的氣動控製元件配套,實現研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調節,為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

    5、大齒圈可以升降,且升降位置可以調節。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數量進行調節。

    6、減速機用杭州傑牌的.

    7、采用雙電機和雙變頻驅動;產地是無錫亨達高溫變頻電機。主電機(9KW/1440rpm)帶動上、下研磨盤和齒圈;用副電機(1.5KW/1440rpm)帶動太陽輪。副電機與主電機按比例同步調速。

    8、配備有自動潤滑裝備,對齒輪進行潤滑。

    9、本設備可設定和存儲三十套不同的工藝參數(壓力、速度、時間、圈數)供使用者選用。

    10、配有主氣缸端鎖機構,可方便、安全鎖定上研磨盤。

                    主要技術參數   Main technical parameters

    1)研磨盤規格:上盤Φ965×Φ395×45mm  下盤Φ965×Φ395×35mm 

       Grinding Pan Specification: Φ965×Φ395×35mm

    2)行星輪規格:Dp12 Z=152 a=20° (外徑:Φ325.96)

       Planet Wheel Specification: Dp12 Z=152 a=20° (OD:Φ325.96)

    3)放置行星輪個數3≤n≤6

       Number of planet wheel:n 3≤n≤6

    4)研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm

       Workpieces ideal Thickness:b 0.3mm≦b≦20mm

    5)研磨工件理想規格: Φ125   最大工件規格:對角線300mm

       Workpeces Ideal Dimension: Φ300

    6)齒圈升降高度:35mm

       Geared Ring Moving Sphere:35mm

    7)下研磨盤轉速: 0-50rpm

       Lower wheel speed:0-50rpm

    8)主氣缸: Φ125×450mm

       Main ain cylinder: Φ125×450mm

    9)升降氣缸: Φ80×250mm

       Moving air cylinder: 80×250mm

    10)端鎖氣缸: Φ32×15mm

        Locking air cylinder: Φ32×15mm

    11)主電機:YVP132M-4  9KW

        Main Motor: YVP132M-4  9KW

    12)副電機: YVP90L-4  1.5KW

        Vice Motor:YVP90L-4  1.5KW

    13)砂泵電機: AB-100  250W

        Sand Pump Motor:AB-100  250W

    14)設備外形尺寸:1690×1340×2650mm

    Machine Dimensions:1690×1340×2650mm

    15)設備重量:方立柱2700kg/圓立柱3000Kg

    主機精度:

    1.下拋光盤端麵跳動  0.05mm
    2.上下拋光盤平麵度  0.02mm
    3.太陽輪徑向跳動     0.06mm
    4.齒圈徑向跳動        0.12mm
    加工精度:
    1.修正輪修研後平行度、平麵度  0.0035mm
    2.加工件平麵度/平行度             0.003mm/φ100mm
    加工能力
    1.單片承片量  8片/φ75mm          5片/φ100mm
    2.整盤承片量  48片/φ75mm        30片/φ100mm